半导体制造设备需要用到一种高洁净度的真空插板阀，型号：DN40；材质：铝。该阀门通过电动来实现阀门开闭，所有运动机构需要与阀体内腔气体隔绝，以防止运动摩擦产生颗粒对内腔气体污染，且使用工况对阀门打开时需实现“真正的直通”。阀门需满足使用温度≤150℃，洁净度达到国标1级，首次保养次数≥1百万次，阀门开闭时间≤1s，整体漏率≤2×10^-8Pa·L/s，压力1*10⁵pa~1*10^-6pa。

目前已完成相关专利查阅工作，正处于方案设计阶段。

投入人力：设计研发团队和试制调测团队。

生产条件：已经有用于半导体行业的阀门小批量生产。