目前国内生产的加速器等其它极高真空设备,需要用到一种全金属静密封超高真空阀门,目前该阀门只能从国外发达国家进口,价格昂贵,且受到诸多限制。现公司正在研发这种全金属静密封超高真空阀门,以打破国外垄断市场,提升企业的市场竞争力。
该全金属静密封超高真空阀门需要达到以下技术要求:
1、该阀门的材料需选用金属材料;
2、阀门在优于1×10-6Pa真空状态下,重复定位精度0.01mm以上;
3、阀门重复次数1万~10万次,且性能可靠;
4、阀门真空密封1×10-9pa以上;
5、阀门真空漏率1×10-12pa.l/以上;
6、阀门能在350℃高温下正常运行;
7、性价比不超过同类进口阀门产品。
公司拥有专业的实验平台、专用检测设备,及专业科研团队,现已有初步设计方案,并且取得了部分实验数据,公司已投入研发资金100万以上。